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半导体行业废气处理解决方案

时间: 2020-10-21? 来源:居峰环保? 点击:? 次
随着我国工业技术的高速发展,其中半导体行业需求也迅速加大,但随之而来也带有VOC废气对大气污染。因为国家近年来对环境治理加大力度,半导体也成分重点治理对象之一。半导体行业对生产车间清洁度要求极高,因此废气排放风量较大、排放浓度小的。今天居峰环保小编简单先容半导体行业废气处理解决方案。
 

 
主要来源于芯片或者是线路板出产的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影过程中以及对电路板进行清洗。主要成分有机废气和酸碱废气两类。有机类有:非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等;酸碱类有:氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。
 
半导体行业废气处理解决方案:
 
(1)预处理阶段:一般采用喷淋塔先对废进行预处理,去除粉尘以及易溶于水的有害气体。
(2)主要处理阶段:在此阶段,比较常见而有效方法有: UV光解,生物过滤分解,焚烧和催化燃烧等。
这几种方式各有优劣,根据大多数电子厂废气的情况,在这里大家主要推荐和先容活性炭吸附+催化燃烧设备去除VOCs气体的方案。
活性炭吸附+催化燃烧设备
 
1、活性炭吸附
活性炭吸附设备是处理有机废气和恶臭气体有效的废气处理设备。该活性炭能有效去除水中的异味、天然和合成溶解性有机物、微污染物等措施。大部分较大的有机分子、芳香族化合物、卤代炔等都能牢固吸附在活性炭的表面或孔隙中,对腐殖质、合成有机物和低分子量有机物有明显的去除作用。活性炭吸附作为一种深度净化工艺,也可用于长期生产和生活污水经终处理后的净化。
 
有机废气气体由风机提供动力,正压或负压进入活性炭吸附器塔体,由于活性炭固体表面上存在着未平衡和未饱和的分子引力或化学健力,因此当此固体表面与气体接触时,就能吸引气体分子,使其浓聚并保持在固体表面,污染物质从而被吸附,活性炭吸附到一定时间后,即可进入脱附流程,脱附后的气体即是浓缩后的vocs气体
 
2、催化燃烧设备
本净化装置是根据催化燃烧的基本原理设计的,催化净化装置内设加热室、换热室,启动加热装置,进入内部循环,当热气源达到有机物的沸点时,有机物进入催化室进行催化分解成CO2和H2O,同时释放出能量。利用释放出的能量进入吸附床脱附时,此时加热装置完全停止工作,有机废气在催化燃烧室内维持自燃,尾气再生,循环进行。余热经过换热器进行回收,便于下次加热进气及余热回收,能量回收效率高,能耗小,有机物得到催化分解处理。

如果您想要了解半导体行业废气处理设备解决方案、了解价格或者是让大家的工程师看现场的话,欢迎拨打专家热线,手机同微信号:150-1536-4893与大家取得沟通。
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